X—轴移动测量范围:50mm
Y—轴移动测量范围:13 mm
测微器分度值:0.01mm
测量精度:仪器⽰值误差±(5+L/15)微米
测量台与物镜间之最大距离:80mm
测量工作台直径:120mm
仪器外形尺寸:高325*长262*宽220mm
仪器重量约:10.6公斤